2 各种检测元件的特点与应用

3 主要检测元件产品

1. 光电编码器
   光电编码器可以非常方便地测量电动机轴的角位移，还可以测量轴的转速。目前常将光电编码器直接通过十字连轴节与伺服电动机组装在一起用以构成闭环或半闭环伺服系统。如SANYO带码盘的直流和交流伺服系统，PANSONIC可选增量或绝对码盘的MINUS系列交流伺服系统。
   光电编码器产品如日本NEMICON的各种类型码盘，广泛用于多关节机器人的控制、ATC工作母机的分度、半导体垫片移动机器人的控制及CT扫描仪的床身定位等方面。种类繁多，有手动编码器、绝对编码器、附增量型的多型绝对编码器，增量型编码器，中空型编码器以及手动脉冲发生器等，微小型编码器直径仅为12mm。分辨率 6位、8位、10位等，最高达25000脉冲/r，可覆盖绝大多数控制应用场合。
2. 光栅尺
   计量光栅作为测量元件已有多年的历史，特别在数控机床上作为闭环控制的反馈元件。英国RENISHAW公司首开开放式非接触钢带光栅系统的先河，一改光栅对安装和使用环境要求极高的状态，使光栅走出实验室，进入广泛的应用领域。
   RENISHAW RG2直线光栅由RGS钢带光栅和读数头组成，RGS钢带厚0.2mm，宽6mm，长度从一米到数十米均可供应，栅距20μm或40μm，光栅精度±3μm/m，线性度±3μm/m或±1μm/60mm。双面镀金，保护标尺不被污物损伤，上下两面均匀变形。读数头分RGH22、RGH24及 RGH25三种外形尺寸，内置细分电路，有0.05μm、0.1μm、0.5μm、1μm和5μm分辨率可选。模拟头有标准电压输出和电流输出可选。体积小，重量轻，调整方便。内置多色发光指示灯来指示读数头的安装，不需示波器等工具。其特殊处理保证标尺部分划伤时精度不受影响。
   RENISHAW还有RGH34裸头光栅系统，RGH42 X-Y网状光栅，RGR圆光栅，激光尺和激光干涉仪等产品。
3. 激光尺
   RENISHAW 最新开发的激光尺RLE由RLU激光发生器、RID测头组成，是专门为工厂单轴或双轴开发的高精度、高直线性位置反馈元件。同样利用激光干涉的原理，但是比激光干涉仪更适合于工业应用而不是标定。可测量轴长度最大100m，最大进给率5m/s，精度± 10nm，重复精度5～10nm。经过细分补偿后可得到0.077nm 的分辨率。适用于半导体、量规及机床等精度要求高的场合。